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大族激光显视与半导体装备事业部
地址：深圳市宝安区福永蚝业路万延工业区-6栋 大族显视与半导体（福永地铁站A出口直行800米）
邮编： 518126
总机：0755-86159293
传真：0755-86632851
邮箱：hansdsi@hanslaser.com
激光掺杂机
应用领域：适用于SE太阳电池和PERC太阳电池。应用领域
适用于SE太阳电池和PERC太阳电池。
设备亮点
l 532nm进口纳秒绿光激光器,稳定可靠；
l 全新聚焦平顶能量分布光路传输系统设计,有效提高光路稳定性,最大限度降低硅基损伤；
l 方形光斑,80～140um可调,激光图形畸变<±15µm;
l 电池转换效率提升0.2%以上（与各家设备及工艺路线相关）
l 多轨独立工作，互不干扰，产能选择：可定制，最大产能≧11000uph；
l 可加工电池片尺寸：155mm×155mm～167mm×167mm;
l 高精度视觉定位，并具备来料NG检测和加工后mark间距检测功能（可选）；
l 两侧/同侧上下料盒方式可选，可对接AGV小车；
l 高速柔性机构传输，碎片率低于0.03%；
l 独立除尘过滤装置，除尘效率大于95%，粉尘过滤效率大于99%；
l 具备MES信息化接口；
l 兼容现有产线，易于升级，可靠性高。
实际效果
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